RF Plasma Taputapu mo nga tono Semiconductor

Ko te RF Plasma Taputapu mo nga Tono Semiconductor he waahanga horoi motuhake i hangaia mo te kohinga semiconductor matatau me nga tukanga maimoatanga mata. Kei roto i nga taputapu he rūnanga pakari i hangaia ki te -te rino teitei, kua oti ki te korukoru-te paninga paura kakano ki te ma, ka mau tonu te ahua o te ahumahi. Ko tana ruuma korehau matua he mea hanga mai i nga pereti konumohe teitei -parakore me te matotoru kia kaua e iti iho i te 25 mm, kia pai ai te mahi hiri me te roa-te hanganga hanganga. Ko te rahi o te ruma o roto he 450 × 450 × 450 mm, he mea whakakikoruatia ki tetahi{11}}waa pereti hiko te ine 410 × 430 mm. Ka whakanohohia nga kete mahi ki runga i te pereti hiko, e hono ana ki te turanga hiko parahi na roto i te mono{15}}i roto i te hoahoa, hei whakapumau i te hanga plasma pai me te pumau i te wa e mahi ana.

Ko te punaha e whakahaerehia ana e te papaahi PLC, e tuku ana i te whakawhiti maamaa i waenga i nga tikanga a-ringa me nga tikanga aunoa. Ka taea te whirihora, te whakatika, te penapena, me te aro turuki i nga tawhā whakahaere katoa. Ko te kopikopiko mana PID ka whakanui ake i te pumau me te tika. Ka taea te penapena me te maumahara i nga tohutoro maha o nga tukanga e hiahiatia ana, he mea tino pai mo nga taiao e hiahia ana ki nga huringa tukanga auau. Ko te punaha korehau e peia ana e te huinga papu maroke, e whakarato ana i te tere o te kumara, me te nuinga o te waa ka eke te ruma ki te taumata korehau e hiahiatia ana i roto i te 100 hēkona.