Nga tono motuhake o nga Kaihoroi Plasma

Ko nga miihini horoi plasma ka whakaputa plasma ma te whakanoho i nga hiko e rua ki roto i te ipu hiri hei hanga papa hiko. Ka whakamahia he papu korehau hei pupuri i tetahi taumata korehau. I te mea ka iti haere te hau, ka piki ake te tawhiti i waenga i nga ngota ngota me te neke noa o nga ngota ngota me nga katote. I raro i te mana o te papa hiko, ka tuki enei katote ka hanga plasma. Ko enei katote he tino tauhohenga, he nui te kaha ki te wawahi tata ki nga here matū katoa, me te whakaawe i nga tauhohenga matū ki runga i tetahi mata e kitea ana. He rereke nga ahuatanga matū o nga plasma hau rereke. Hei tauira, ko te plasma hāora he tino oxidizing, he kaha ki te oxidizing photoresist ki te whakaputa hau, na te whakatutuki i te painga horoi. He pai rawa te anisotropy hau hau kino, e tutuki ana i nga whakaritenga o te tarai. Ko te maimoatanga o te plasma ka puta he kanapa, no reira te ingoa ko te rere mura.
Ko te tikanga mo te horoi plasma e whakawhirinaki ana ki te "whakahohenga" o nga matūriki hohe i roto i te plasma hei tango i nga paru o te mata. I runga i te tikanga o te tauhohenga, ko te mahi horoi plasma te tikanga e whai ake nei: ka hikaka nga hau parakore ki roto i te ahua plasma; ka ngongo nga matū hau ki runga i te mata totoka; ka tauhohe nga roopu whakauru ki nga ngota ngota i runga i te mata totoka hei hanga ngota ngota hua; ka pirau nga ngota hua ki te wahanga hau; ka tangohia nga toenga tauhohenga mai i te mata.

Ko te mea tino nui o te hangarau horoi plasma ka taea e ia te rongoa i tetahi momo tïpako, tae atu ki nga konganuku, semiconductors, oxides, me te nuinga o nga mea polymer penei i te polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, tae noa ki te polytetrafluoroethylene. Ka taea e ia te horoi i te mata katoa me nga waahi motuhake, me nga hanganga matatini.